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真空泵漏气的原因

由于真空泵所用材料的缺陷,制造加工过程中造成的划痕以及在装配过程中有些部位密封程度较差而形成漏孔,造成真空泵漏气

。大气会从这些漏孔进到真空泵,使真空泵在某一预定时间内达不到所要求的真空度而不能正常工作,甚至不能工作,不过,有

些真空泵经过一段时间的抽气之后仍达不到预期的真空度不一定都是漏孔造成,还可能是真空泵系统本身存在问题,如机械泵,

油扩散泵不能正常抽气,也可能是真空系统或被抽容器内存在放气源。上述三种情况中出现任何一种时,真空的获得和维持就十

分困难了。为了弄清情况,一般用静态升压法进行判断。

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