测量真空泵真空度需要的几个条件

当我们了解真空泵的真空是如何获得，真空系统如何组成之后，还必须知道真空泵真空度的高低是如何测量的，其中真空测量仪器是真空技术的重要部分之一。目前真空技术应用的压力范围是1.013x105~1.3x10-11Pa (760~10-13Torr)，至今还没有一种仪器能够测量整个压力范围，而是根据压力的大小，选择不同类型的真空计去测量。真空计有时是测量气体的绝对压力，但在多数情况下是利用与压力有关的物理现象来表征压力的大小，即测量随气体压力变化而变化的参数，如气体的热传导，气体的粘性、密度或电离能等，然后换算成压力。
根据真空测量的特点对真空计提出一些要求:
(1)量程尽量宽些，便于测量;
(2)要有足够的精度，对外界条件如温度变化，振动、电磁场等不敏感;
(3)能够连续测量、有利于实现压力的自动记录和真空系统的自动控制;设备简单，操作方便。真空计的种类很多，在塑料真空镀膜中常用的有热传导真空计和电离真空计。

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