与进入反应釜参加反应的气体不同，旋片式真空泵从反应釜内抽出的混合气体的准确组成成分是不知道的，只知其为下述物质的混合物。
①未分解的反应气体和蒸汽（CVD淀积的效率通常小于总量的百分之三十）；
②挥发性的反应生成物和副产物；③携带气体，如H2〔活性的）、N2和Ar（惰性的）。　　　
这些混合物在经过旋片式真空泵，被排到尾气管道的过程中会出现以下几种情况：　　　　
（a）它们可能通过前级泵转移走，也可能有一小部分在旋片泵内累积起来。　　　　
（b）它们可能在泵内发生反应，如同用SiH4与O2淀积SiO2，在泵的出口处（处在大气压下）生成大量的SiO2。
（c）它们可能与泵油和泵体材料发生反应。　　　　
（d）它们可能排出泵后与H2O和O2发生反应（例如，TiCl4水解后形成HCl，WF6水解后形成HF），或在有空气漏入或扩散进入泵油时，在泵内与之发生反应。
正是由于上述复杂的反应，可能会引起下列的情况，并形成堵塞：①由反应气体产生的颗粒堆积起来；②排出的源气体与排气管的空气或洗涤塔来的潮湿气体发生反应；③由于升华固体的堆积。如LPCVD氮化硅工艺所产生的NH4Cl。如果泵的排气口或排气管道被堵塞都将会使真空泵油腔内出现大的超压。使自燃物的燃烧极限范围被扩大，从而容易发生危险。为了避免超过极限工作压力，必须对泵的排气口部位、排气管道和连接附件应该进行定期检查和清洗。并使用高效过滤器来收集固体颗粒。