旋片真空泵真空度本来就很高，一般的工艺需求是完全可以满足的，但如果针对半导体行业的话，它的真空度要求特别高，需要

配真空机组才可以达到，旋片真空泵一般用作反应系统的前级泵，它与罗茨真空泵共同组成罗茨旋片真空机组，旋片泵能在

60~100℃范围内把各种不同的混合气体压缩到大气压并排放到排气管中。如果泵内危害性产物的压力、浓度、温度都比较高，这

些物质在泵及泵的附件内积存起来；这些物质在排汽管道内同周围空气相接触等等，都会构成潜在的危险。　　　　

半导体制造使用或产生的有害气体，必须采取合适的测量方法，以防止着火和爆炸，保证设备的正常运行，防止操作人员、维修

人员及服务人员发生急性或慢性中毒。为了安全起见，应配备抽力足够大的合适真空泵和附件，并要求采用合理的操作和维护方

法，配备适当的监控装置。

由于旋片真空泵在半导体制造设备中的重要作用，所以我们从旋片泵正常工作的几个条件入手，阐述一些安全工作的要素。这些

具体事项都会在以下的几篇文章中说明，请大家耐心等待！