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我国真空获得设备的发展方向

1.提商我国现有真空获得产品的综合性能水平

目前我国真空工业与国外先进水平相比至少有15年的差距。我国真空技术的应用仍然集中在传统的工业应用领域，如真空冶炼，真空热处理，真空浸渍，真空干燥，真空脱气，真空蒸馏、浓缩以及一般的真空镀膜等领域。在上述这些应用设备中旋片真空泵、滑阀泵、罗茨泵和水环泵占了95%左右。因此减少这些泵的振动、噪声，确保其在各种工况下长期运行的可靠性，已成为提高我国真空应用成套设备质量和扩大真空技术应用领域的关键。

2.开发适应时代要求的真空产品

根据国外真空获得技术的发展趋势，特别是半导体集成电路制作工艺对真空获得技术的苛刻要求，这种有油的真空系统必将被无油直空系统所代替。因此，为了适应我国电子信息产业的发展，必须大力研究开发清洁、无油、耐腐蚀、高可靠性的低温泵、分子泵和各种类型的干式分子泵。