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国内真空泵的综合性能比较

我国生产的各种真空泵产品，其抽气速率、极限真空等主要技术性能指标同国外同类产品相比差距不大，但其综合性能指标特别

是稳定性与国外同类产品相比有很大差距。

旋片真空泵和滑阀真空泵普遍存在振动大、噪声大以及轴封漏油的问题，特别是大型直联泵在技术上尚未过关，可靠性较差。

罗茨真空泵同样亦存在振动大、噪声大的问题并且故障率较高，而国外罗茨泵可以十几年不用检修。

国产油扩散泵的工作范围普遍比国外泵窄了一个数量级，而且返油十分严重。国外油扩散泵的返油率可达到分子泵的水平。