蚀刻工艺可分为铝质金属蚀刻、多晶矽类的蚀刻、氧化膜的蚀刻等，金属类的蚀刻会产生大量反应副产物，对无油真空泵的负荷会很大。
多晶矽膜、氧化矽膜等的蚀刻使用CF4，HBr，SF6等气体，反应副产物较少，升华温度较低，可以气态形式排出泵外。铝质金属的蚀刻则使用三氯化硼等氯化气体，会产生大量的四氯化铝，升华温度高，很容易附着在温度低的部位，未发生反应的气体又多半属于腐蚀性较强的。在钦的蚀刻中常使用氟化系气体，其特性类似于氯化系气体。
干蚀刻生产中多用到氟、氯、溴化物系等腐蚀性较强的气体，这些气体与水结合变成强酸，有强烈腐蚀性。因此，要求无油真空泵和管道材料具有高度耐腐蚀性能。
