1.流速

真空泵流速越快，气泡在很短的时间内从低压部到达高压部而破灭。

2.气蚀系数

因气泡的发生量小，所以损坏小。汽蚀发展使得整个试片为气泡覆盖。气泡在远离试片的位置破灭，因而损坏亦变小。

3.时间

真空泵在进行汽蚀损坏试验时。其损坏的速率随时间而变化。此变化一般可分为以下几个时期:

(1)潜伏期-承量不变、表面粗糙度增加;

(2)加速期-损坏速度增加;

(3)减速期-损坏速度变为最大之后而减小;

(4)定常期-损坏速度一定。

4.温度

不管那种材料，在温度为40~50℃的范围。其损坏最大。这是因为温度增高.水中溶解的空气量减少，气泡的缓冲效果减小，所以温度升高损坏增加。温度进一步增高，蒸汽压力急剧增大，气泡大量生成，气泡的缓冲效果增加，汽蚀损坏减小。

5.空气含量

空气含最多时。由于缓冲作用，其气蚀损坏减轻。

除上述外，影响真空泵汽蚀损坏的因素还有：液体的性质(如汽化压力、表面张力、粘性，密度等)，材料的机械性质，材料表面的粗糙度，尺寸效应等。