真空电子器件生产中应用的真空系统种类繁多。这里将根据真空系统的工作压强范围，介绍一些典型结构的常用的真空系统。

中、低真空系统是能获得10-3托以下真空度的系统，以旋片泵或吸附泵等为主泵，配以真空阀门、捕集器及管道等连接而成。这样组成的系统抽速一般较小，如要提高抽速可选用滑阀真空泵或罗茨泵机组。中、低真空系统结构简单、排气量大，主要用在各类电子管的预排，白炽灯与荧光灯的排气，真空储存柜和离子戮射镀膜机等装置中。

中、低真空系统的真空度可用火花检测器或放电管指示器来估计，也可用热传导真空计来测量。为了提高系统的工作真空度，减少旋片泵油蒸气和系统中水蒸气对真空系统的影响，在三通玻璃活塞上，侧接一只外冷式液氮冷阱。带液氮冷阱的真空系统工作真空度可以达到10-3托左右。若该系统要反复暴露大气，采用活性氧化铝挡油阱同样能达到上述目的，不过活性氧化铝要定期激活。