化工生产中，有许多单元操作需要在低于大气压下进行，真空泵就是获得低于大气压强的一种机械。

往复式真空泵的构造与工作原理与往复式压缩机相同，只是真空泵在低压下操作，汽缸内外压差很小，所用的活门必须更为轻巧，启闭方便，它的阀片很薄，阀片弹簧也很小。另外，达到高真空度时，压缩比很大，所以余隙必须很小。为了降低余隙的影响.在汽缸左右两端设有平衡气道。活塞排气阶段终了，平衡气道连通一很短时间，残留于余隙中的气体可以从活塞一侧流到另一侧，从而降低了余隙中气体的压强。其结构很简单，只是在活塞终点时的汽缸部分加工出一个凹槽。

真空泵和压缩机一样，汽缸外壁用冷却装置，以除气体在压缩过程产生的热量。

我国生产的往复式真空泵，系列代号为W。有W-1至W-5共五种规格，抽气速率为60~770m3/h,它造成的绝压可达0.1kPa或更低一些。

往复式真空泵是一种干式真空泵,操作时要防止抽吸气体中带有液体，以免发生设备损坏事故。往复式真空泵由于转速低，排量不均匀，结构复杂，零件多，易于磨损等缺陷，近年来已逐渐被其他类型真空泵所代替。