低真空机组的组成及类型

低真空机组由不同主泵、往复真空泵、油封真空泵、水蒸气喷射泵、水环泵、分子筛吸附泵、油蒸气喷射泵、罗茨泵等与前级泵(油蒸气喷射泵、罗茨泵)、阀门及管道等真空部件组成，它是工作在低真空范围的真空机组。其主要特点是工作压力高，排气量大，抽速较低。

根据用途、主泵及各真空部件特性之不同，低真空机组可分下述类型。

1.工业用低真空机组

图1为超高真空镀膜机上用的金属低真空系统。

图1 金属低真空系统
1-机封泵;2-放气阀;3-管道阀；4-挡油阱；5-热偶规;6-管道阀;7-电磁阀。

2.罗茨泵为主泵的低真空机组

它用于真空干燥、排除大量水蒸气且极限真空度要求较高的抽气系统中。

①一级罗茨泵低真空机组原理如图2所示。

图2 一级罗茨泵低真空机组原理图
l-罗茨泵;2-阀门;3-大气喷射泵;4-水环泵;5-气镇式机械泵。

②两级罗茨泵和一级水环泵(极限真空度7x103Pa)及气镇式机械泵联合使用时，如图3所示。工作压力可达10-1Pa.当需要大量排出水蒸气时，关闭阀2，用水环泵做前级泵;当水蒸气分压降低到3x102~1x103Pa后，关闭阀门1，打开阀门2，用气镇式机械泵做前级泵。

图3 两级罗茨泵低真空机组原理图
1-罗茨泵;2-气镇式机械泵；3-水环泵。

③一级罗茨泵直接与大气喷射泵及水环泵(极限真空P=3x103Pa)串联使用，最低工作压力可达3x102~1x103Pa).

④罗茨泵-水环泵 图1-61是将两个罗茨泵串联使用.双水环泵做其前级泵.可提高机组的极限真空度。

在考虑水饱和蒸气压就是水环泵的理论极限真空度及气体反流等因素时，应提高前级泵的极限真空度。其极限真空度可达3x103~5x103Pa.