1.粗真空系统    

用粗真空泵(如水蒸气喷射泵或水环泵)直接从大气压下为真空室排气，组成的真空系统即为粗真空系统.该系统是最简单的真空系统。

2.低真空系统

用低真空泵(如油封式机械泵)给真空室排气，即可组成低真空系统。

3.中真空系统

4.高真空系统

这种系统应用较广泛，它的工作压力范围一般在1.33×10-2~1.33×10-3Pa.

(1)扩散泵串联机械泵的真空系统。可以获得10-2~10-5Pa的真空度，一般用在工作时放气量比较小的应用设备上。该系统的结构简单。工作可命，成本低。缺点是系统启动慢，预抽时间长。扩散泵的油蒸气容易返流到真空室中去。

(2)扩散泵申联油增压泵，再串联油封机械泵的真空系统。该系统的预抽时间短，但启动较慢。

(3)扩散泵串联罗茨泵(机械增压泵)，再串联机械泵的真空系统。它的启动慢.但预抽气时间短。

5.超高真空系统

(1)扩散泵串联机械泵申联冷阱系统。