真空泵是产生、改善和(或)维持真空的装置。目前，人类已经可以获得1.33*10-11Pa或更低的真空度，要比大气压力低15个数量级，但是人们还没有研究出一种能够独立地把一个密闭容器从一个大气压抽到如此高的真空度的真空泵，而是用几种真空泵的组合和某些减少残余气体分子数的方法才能达到这一目的。因此真空泵有好多种，按照获得真空的工作原理，我们将真空泵大致分成以下三类:

①利用机械运动(转动成滑动)的方法获得真空的泵，称为机械真空泵，也叫容积泵。常用的有往复机械泵、油封机械泵和罗茨泵等。

②利用高速蒸气流来获得真空的泵，称为流体输送式真空泵。常用的有油增压泵和油扩散泵等。

③利用吸气表面将被抽容器内的气相分子捕集(成吸附)起来的真空泵，叫捕集式泵。常用的有溅射离子泵、钛升华泵、涡轮分子泵和低温泵等。