低温真空泵是利用低温(低于100K)表面冷凝和吸附气体来获得和保持真空的装置。
低温真空泵的抽气原理
当气体粒子入射到温度足够低的低温面上时，它们会丧失相当多的动能，以致在一定的条件下，通过凝聚，低温吸附，低温捕集或吸气而粘附于表面，使空间的气体分子数越来越少，实现了抽气作用。
气体主要以凝聚在低温表面上而抽真空的泵称为低温冷凝泵。低温冷凝泵抽真空时对气体类型是有选择的，不同温度的低温表面冷凝不同种气体，达到不同的极限真空度.只有沸点高于固体表面温度的气体分子才能被冷凝抽除。
利用低温表面上的吸附剂和打在其上的气休分子发生吸附而达到抽气作用的泵称为低温吸附泵。吸附剂可分金属型和非金属型两类:金属型吸附剂主要有铁、钽、钥等，以蒸发或升华的形式沉积在低温面上达到吸气目的;非金属型吸附剂以活性炭和分子筛为主，用低温粘结剂粘在低温面上，在温度降低时大量吸附气体。
低温捕集或吸附是利用二氧化碳、水热汽等易冷凝的气体，在低温面上凝结的同时，将不易冷凝的气体(如氦)一起埋葬或吸附抽除.
实际应用的低温泵常将低温冷凝、吸附和捕集作用结合起来，对各种气体都有抽气作用。
