国内当前真空取得设备依然以传统的真空泵为主,首要为旋片真空泵、水环真空泵、滑阀真空泵、罗茨真空泵等,且悉数用于传统工业,我国出产的真空泵用于电子信息工业缺乏1%,与日本、欧美等国比较距离宏大。我国干式真空泵的出产处于刚刚起步期间,在全国200多家出产真空泵的公司中,可以出产干式真空泵的公司缺乏10家,年产量缺乏1000台。没有构成批量出产。
国内出产的干泵绝大多数用于实验室及化学、医药等范畴,用于半导体职业的很少。国内飞速开展的电子信息工业没有有用的影响国内干式真空泵开展,而却成为国际上真空工业发达国家的扩大之地。
国内建成的半导体集成电路出产线,简直一切的干式真空泵(包含其它真空设备)均为进口,首要来自英国、日本、德国、美国等。国内出产的干式真空泵进入该范畴非常困难,使得干式真空泵这个将来真空取得设备的主导产物在我国处于非常困难的地步。形成此情况的首要原因为干式真空泵在我国的起步较晚,刚一起步即面对国外现已开展老练的产物很多进入我国商场,国内产物除了价钱低外,在加工制作、技能水平、质量情况等各方面不含有优势,国外各国的产物通过几年的比赛,现已根本瓜分了国内商场,而且站稳了脚,国内的干式真空泵出产因为失去了商场的鼓励,没有了开展的动力,前进缓慢。业界教授共同以为干式真空泵是真空取得设备开展的方向,也是真空取得手法的“顶级”技能,我国的真空泵工业有必要在此范畴有所作为,首要进入食物、化工、医药等职业。通过这些商场的培养和训练,进而打入半入半导体职业。才能使整个职业与时俱进的开展。当前国内分子泵应健全系列并开发多种类,如低温分子泵、复合分子泵等,逐步扩大商场。