真空泵系统的主泵选定之后，重要的问题是如何选配合适的前级泵和预抽泵。通常前级泵直接影响主泵的抽气性能，影响真空系
统的抽气时间和经济效益。配前级泵时应遵循如下几点规定：
(1)前级泵应保证能及时排出主泵所排出的气体流量。
(2)前级泵在主泵(如扩散泵、油增压泵，分子泵和罗茨泵)出口处造成的压强应低于主泵的最大排气压强。
(3)兼作预抽泵的前级泵应满足预抽时间的要求。
当选用油蒸气流泵作为主泵时，配前级泵的方法可以按经验标准所推荐的前级泵的大小来确定。
配前级泵确定之后，即可按前级泵的入口尺寸选择前级管道阀和预抽管道阀，确定备部分连接管道的尺寸。根据以上的确定，可
绘制出真空系统设计图。 |
