当销售人员在为用户具体工艺选择用什么类型真空泵的时候，同时不要忘记工艺室和真空泵之间的抽气管道可能和真空泵的选择
一样重要。要使腔体抽气速率达到最大，需要笔直的抽气管道(长度短)并使用直径尽可能大的管道。
看起来似乎很简单，但是这里有许多因素需要考虑。实际上，如果我们从物理学角度考虑，就可以明确哪些是关键因素。
在稳定状态的条件下，如果抽气管道内没有气源(泄漏)或气体减少(冷凝)，抽气管道任何截面的质量流量必须相同。简单而言，
进入工艺室的气体必须从泵出来。
那么,什么样式的管道设计才能达到满足需求呢？
1、真空泵管道尽可能短；
2、采用的管道直径至少等于泵入口法兰的直径；
3、尽量减少弯头数目； |
