蒸气流真空泵是一种用蒸气流体作为抽气介质来获得真空的装置。

蒸气流真空泵包括蒸气喷射泵、蒸气增压泵和蒸气扩散泵等。其抽气机理都是基于高速运动的蒸气流与被抽气体混合进行能量交

换而实现抽气作用的。

在蒸气流真空泵内，蒸气由喷嘴喷射出的流动状态，可以是揣流的，也可以是枯滞流的，究竟是哪种流态主要取决于蒸气流的压

力和流过喷嘴的蒸气流量。

蒸气流喷射泵的作用，是在湍流(紊流)的条件下依靠蒸气流表面大量的漩涡与被抽气体相互掺合而卷带气体。在此过程中，被抽

气体分子在射流的方向上获得了由蒸气分子给予的

冲量。除了湍流卷带气体之外，还有微弱的粘滞携带气体和扩散携带气体的作用。根据这种机理设计的泵叫蒸气流喷射泵。这种

泵的工作范围为1x10-4Pa- 10-1Pa(甚至到10 -2Pa)。

如果由喷嘴喷射出来的工作流体为粘滞流(层流)流动状态，则工作流体依靠其边界层和被抽气体层之间的粘性康擦而携带气体。

除此之外，还有一定的扩散携带气体的作用。按此原理制成的泵称为蒸气流增压泵(简称增压泵)，这类泵的工作范围为lOPa-10-

2Pa级。

当被抽气体的压力很低时，由喷嘴喷射出的工作流体的密度进一步降低(速度较大)，被抽气体分子扩散进人蒸气流中而被抽走。

由此而设计的泵称为扩散泵，其工作范围为10-2Pa-10-6Pa。