半导体工艺涉及许多种有害和腐蚀物质，为了防止直接的或潜在的毒害，操作者必须避免有害气体对旋片真空泵的污染。为了把旋片真空泵内的有害物质的累积减少到最低程度，建议在操作时用惰性气体（N2）冲赶油腔面上的部位，油腔内也用Ｎ2冲赶，利用赶气操作和适当地增大旋片泵的抽速，能够防止挥发性蒸汽在泵内冷凝。
为了避免毒害气体从真空泵系统泄漏出去，要求系统的气密性与使用自燃气体时的一样，即：
①决不允许空气进入排气管；
②必须使用可靠的密封装置；
③油过滤系统与泵的连接接头不要用简单的快速接嘴。
以上是针对旋片泵在工作状况下的注意事项，另外，在更换油过滤芯和日常拆卸维修旧泵时，也要加强防范事故意识。在更换油和油过滤器时，如果操作不当，会引起不可忽视的危险。操作应在保护罩下进行或采用其它充分的防护手段。对于维护人员来说，必须穿上防护服装。换油过滤器是很方便的，对操作人员没有危险，但是油过滤器与泵要用合适的阀门连接，以便能把油过滤器拿到防护罩进行维修。如果换油则能用阀门连结到供油和出汕系统中，则前级泵的换油也能在现场完成，没有任何危险。但是排出的废油应用吸气泵吸到一个封闭的系统内，或直接吸到一个预先抽空的容器内。
在拆卸真空泵时，泵与系统的管道断开之前，必须气镇足够长的时间，用Ｎ2进行较长时间的冲赶，并关闭进气阀，以免气体进入真空机组。赶气结束之后，才能进行换油、拆卸、清洗和修理，我们必须考虑到，泵内的许多挥发性物质在与湿气（即环境空气）接触时，会放出有害气体，在某些情况下，抽吸的物质难免要与泵体材料相接触，结果会形成固体金属磷化物或金属砷化物。当泵体暴露在空气中时，就可能释放出ＰＨ3或ＡsＨ３，此时，更要注意防止中毒，及其它损害。所以这些工作需在有局排装置的车间里进行，工作人员必须穿上防护工作服。
随着半导体制造设备的日趋先进，电脑技术日趋完善，最理想、最安全的方法是对机械泵的运转和一此的进行自动监控。例如，在一些关键的应用中，必须对真空泵及附属部件实施监控。如果用手动方法对各种机器的单项功能进行逐一的检验，依靠维修人员对机械泵的油面进行直观检查，在实际上是很困难的，且不能保证长期安全可靠。
综上所述，泵的安全操作对于设备的安全可靠运转，以及产品质量都有重要意义我们应该严格遵守操作过程，注意安全，防患于未然。
