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真空镀膜中常用的真空泵类型

在塑料真空镀膜中我们常用油封式旋转机械真空泵做为前级泵。油封式旋转机械真空泵是容积泵的一种。我们知道一定质量的气

体在状态变化过程中如果温度保持不变，体积受到压缩时容积变小，压强增大，进行排气。

相反，当体积膨胀时容积变大，压强减小，进行抽气。这种利用密闭容器容积周期变化而达到抽气作用的泵叫容积真空泵。

旋转式机械真空泵既能够独立工作获得0.13pa（10-3Torr）的低真空，又能够做为各种高真空泵的前级泵。因为它用真空泵油来

润滑并起密封作用，所以叫做油封式旋转机械真空泵。旋转式机械真空泵由于运动件结构的不同，有不同的型式，常用的有旋片

式真空泵。旋片式真空泵易于装配、调试，适用于中、小抽速。目前容积泵除旋片式真空泵外，还有滑阀式机械泵、罗茨式真空

泵等。不同类型的容积真空泵抽气性能差别很大。