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真空泵系统的基本操作规则

(1)启动机械真空泵时，首先要保证转子运动方向正确，而且注意泵油箱中的油位应合乎要求。

(2)机械真空泵入口处应安置压差阀，当机械泵停止后，立即将机械泵入口通大气。防止泵油返流进入到真空容器中。

(3)不要用机械泵将真空室直接抽至低于13pa压强，否则机械泵油蒸气容易返流进入真空容器中。因为在压强低于13pa时，会出现

分子流流态，油蒸气分子将返流到真空容器中而造成污染。如果在机械泵与真空容器之间设有冷凝捕集器，则允许机械真空泵抽

到13Pa以下的压力，这时捕集器可以防止油蒸气进入真空容器。

(4)不要使机械真空泵在大气压力下或较高压力下连续长时间工作，否则电机会过热，而且泵出口会喷出油雾。

(5)在扩散泵(或油增压泵)通大气之前，应该将泵油冷却到安全温度，防止高温下泵油发生氧化。

(6)蒸气流泵在加热之前，应供给冷却水。而且泵应该配备热保护继电器，当发生停水事故时，能立即使加热器断电，并关闭入口

阀门防止泵液因温度过高而氧化。

(7)由于扩散泵油返流在泵开始工作和泵停止加热阶段特别严重，因此在开泵前和停泵前应将扩散泵的入口的高真空阀门关闭，可

以防止泵油返流到真空室。

(8)不要在压力高于10-2pa时给冷阱加入液氮，这样会导致凝结很多水气。冷阱在使用前要把液氮阱的贮液罐中的所有水凝液都清

除掉，以避免水冻结在阱内。开始抽气时，最好分步地加注液氮，这样可使真空系统冷凝物主要捕集在阱的下部。当达到高真空

后，应给阱加注液氮达到较高液面，以便大量捕集气体。

(9)为了缩短抽空时间，当真空室对大气压作短时间通气时，使用干燥氮气为好。把真空系统内表面的湿气减到最小限度。通气时

应在真空室一侧用放气阀门进行放气。不可以从扩散泵出口的前级管道上通气。

(10)使用热阴极电离计时，应该在真空室内的压力达到1.33×10-11pa时，再接通电离计的电源，防止因压力过高而烧坏规管的

阴极灯丝。

(11)当真空系统停止工作时，应使系统处于并保持在真空状态下，但是机械泵要通大气。