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真空泵系统的日常维护的注意事项

真空泵系统的日常维护工作主要应注意以下几点:

(1)在真空泵系统操作中应注意真空系统的清洁问题，对周期性工作的真空系统，应及时清除工艺过程所产生的污物，尽量缩短真

空室暴露在大气中的时间以减少潮湿空气对真空室的吸附量。

(2)真空系统停止工作时应将系统抽空保持一定的真空状态。

(3)对系统中所使用的各种真空泵，真空阀门等应严格遵守其操作规程，做好日常的维护工作。