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真空工艺对卫生的要求条件

常规的真空工艺系指没有经过特殊需求的真空工艺进程，这类真空设备对真空卫生的需求主要表现在以下四点：

（1）但凡处于真空中的真空泵零件，都需求无积存的污染源，外表无尘土，无铁屑、无锈蚀；

（2）真空设备的真空室外表要润滑、无松软安排和气孔、无内焊缝等影响真空的缺点；

（3）高真空设备中，真空室内的运动部件不得用机油作润滑剂，要用饱满蒸气压低的分散泵油、硅油作润滑剂；法兰、观察窗的

密封部件要涂以高真空油脂；

（4）真空设备通常应在温度为15～30℃，相对湿度不高于70%的卫生空气流通的环境中作业，冷却水进水温度不高于25 ℃。