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造成真空泵污染的条件及产生的影响

真空泵在制作过程中，由于生产工人的原因，零件外表不可避免地会沾上油脂、汗痕、抛光膏、焊剂、金属屑、油垢等污染物，

与此同时，污染物在大气压下吸附了很多的气体，在真空环境中，这些气体被释放出来，构成了约束真空设备极限真空的要素。

真空泵设备在运用过程中，受运用条件的影响，零件还会遭到污染，如真空枯燥体系，常常会遭到蒸发物质的污染；真空镀膜机

的内壁会被蒸发资料污染；离子束刻蚀设备的内壁会被溅射物污染；真空中电子枪的灯丝，因为高温蒸发会使其邻近外表构成金

属膜；真空体系中的机械泵油和分散泵油更是污染源，会使设备在长时间作业后内部构成油膜。这些污染同样会影响设备的功能

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