微波管内的真空度的获得，主要通过排气工艺把管内气体抽出，从而获得一定的真空度。由于微波管结构复杂，零件繁多，一般都是100种以上；真空气密性焊缝多，一般有几十道焊缝。所以在排气时需要加热到高温对金属零件和焊接处进行出气处理。这样在微波管工作状态下，内部零件温度会身高，就不会出气了，这样在工作状态下仍然会保证高的真空度。
常用的排气系统为油扩散泵排气系统和涡轮分子泵排气系统，主要组成为前级泵(机械泵、罗茨真空泵等)粗抽，然后利用主泵(油扩散泵、分子泵等)，配置必要的真空管道、一定高真空阀门、所需的真空计(电阻真空计、电离真空计、B-A真空计等〕把真空度抽至高真空。当利用油扩散泵时，还需要加一挡油阱，防止泵油对真空器件内部系统的污染，排气结束后，真空度能达到10-6pa，可以满足微波管的使用要求。为了提高微波管排气时的真空度，减少在后工序的放气量，我们利用溅射离子泵对微波管的排气，排气结束后真空度可以达到2x10-7Pa。
排气结束后，微波管和排气系统进行冷封离，在封离过程中机械挤压使金属零件放气，同时微波管在放置一段时间后，由于其本身的高真空，内部材料会进行放气，从而降低了管内的真空度.这时我们利用了一种小离子泵(俗称钛泵)保证内部的真空度，同时在微波管老炼、测试等工序中，管内零件经过高速电子束的轰击会产生放气，需要钦泵进行抽除.钦泵的电流还具有检测微波管内部真空度的作用.
在微波管老炼、测试结束后，这时管内的真空度一般都会保持稳定。由于钦泵本身体积比较大，影响微波管的外形尺寸，一般我们会进行去除(对外形无要求的可以不去除)。
但是微波管等电真空器件一般需要一定长寿命，一般指标要求为3年(空间微波管要求20年)。在这长时间的工作中，零件材料本身的缺陷(气孔、裂纹等)和焊接的死空间可能产生慢性漏气或者放气，破坏内部的真空度，我们在这里放置吸气剂。吸收管内残余气体及管内零件重新释放出来的气体，维持管内的真空度。
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