排气速度要适当，一般不超过30m/s，过高的排气速度将促使被压缩的气体从压缩腔向吸气腔返流，不但会影响旋片式真空泵的真空度，更会导致抽气速率的下降。对于双级旋片真空泵来说，高真空缸与低真空缸之间的通道面积也极为重要，如通道面积过小，将使气体流速加快，造成低真空缸来不及完全吸收从高真空缸排出的气体，产生气体返流，会严重影响高真空泵的抽速。由于在设计中已预先考虑了这种可能性，所以我们的双级旋片真空泵中没有出现过上述现象。

但我们检测的2XZ-2和2XZ-4型旋片真空泵中就出现过上述现象，由于2XZ-2和2XZ-4型旋片真空泵的大部分零部件是通用的，只是泵缸的长度不同，高真空缸和低真空缸之间的通道面积是相同的，所以对2L/S泵而言是足足有余的，而对4L/S泵来说则就不够了。检测发现在1.5kPa时，2L/S泵的抽气效率达到85%，而4L/S泵只有77%，达不到行业标准的要求，经我们建议，扩大了4L/S泵的通道面积，复测4L/S泵在1.5kPa时的抽气速率达到85%以上。