电离升华泵又称轨旋式离子泵。它结构简单、体积小，重量轻，造价低，制造方便。它既有钛升华泵的特点，能使钛加热到

1200℃而升华，来抽除活性气体，又有溅射离子泵的特点，对惰性气体电离抽气，且不用磁场而获得高效率抽气作用。其有效工

作范围宽，大约在10-2~10-9Pa，在高超区域内保持恒定的抽速。

这种泵的缺点是电离抽气与钛损耗之间有矛盾，欲提高惰性气体的抽速，势必加高阳极电压，提高发射电流，因此钛的损耗增大

，泵的寿命缩短；欲增加储钛量延长泵的寿命，阳极要变粗，电子的轨道变短，电离抽速下降。这种泵的直径越大，所需阳极电

压越高，上万伏的电压对生产不安全，电子轰击阳极会产生有害于人体的X射线，不适于做大泵。

电离升华泵的原理是电子从灯丝发射出来，由于灯丝附近的屏蔽作用，使电子在离开灯丝时具有足够大的角动量，这样电子就不

会即打在阳极上，而进入到由阳极（加正高压）和阴极（接地）建立起来的对称对数静电场中，连续作轨道旋转运动，具有很长

的平均自由程。在电子作轨道旋转过程中气体被电力，电子业损失了能量，轨道逐渐缩小，最后撞击到阳极钛住上，使钛升华。

升华的钛碰到冷却的泵壳上，形成新鲜的钛膜，像钛升华泵一样使活性气体被抽除。同时电子在飞行中对惰性气体电离，正离子

飞向阴极，像溅射离子泵一样，达到抽除惰性气体的作用。如果钛的升华率足够高，粘着几率接近于1，那么，对于活性气体的抽

速主要受泵口流导的限制。