一些过度族的金属和难熔金属（钛、钽、铌、钼、钨），在一定的温度范围内，对活性气体有很好的吸附和吸收性能。在真空条

件下，用电阻加热或电子轰击加热的方法，可以将这些金属蒸发沉积在器壁上，形成一层薄膜，用来对活性气体进行吸附。上述

各种材料中，钽的吸气性能最好，但它的蒸发温度过高，加热元件容易损坏。锆难以蒸发，抽氢性能不如钛、钽、钼优良。在室

温下，铌膜抽气性能不如钛，但低温性能好。由于钛的价格便宜，易于蒸发，而且抽气性能和工艺性能较好，因此，目前经常采

用钛作为升华泵的吸气材料。

利用加热的方法升华钛并使其沉积在一个冷却的表面上，对气体进行薄膜吸附的抽气装置，称为钛升华泵。钛升华泵和其他真空

泵相比，有如下优点：

1）抽速大。新鲜钛膜在液氮温度下，对氮的抽速可达10.1L/（cm2·S），对氮的抽速可达19.9L/（cm2·s）。

2）极限真空度。可达10-10Pa。

3）在超高真空状态下，泵的抽速随着压力的降低而增大，这时泵的抽速主要受泵口流导的限制。

4）可获得清洁的真空。

5）结构简单，运转费用低。其主要缺点是对惰性气体的抽速小，因此常与其他类型泵搭配使用。