作为一种干式真空泵,无油泵是能在大气压力至5Pa的压力范围内工作,创造无油清洁真空环境的真空泵。在泵的抽气流道中,无须使用任何油类和密封液体作为介质,依靠动、静涡旋盘相对转动形成吸气腔和压缩腔将被抽气体排出,连续完成吸气、压缩和排气过程。因此,如何防止泄漏解决密封的问题尤为突出。
涡旋泵的密封主要包括轴向啮合间隙的径向密封,即齿顶密封,和径向啮合间隙的切向密封,即齿侧密封。
齿顶密封采用顶部密封件来解决。动盘(转子)与静盘(定子)的齿顶面上开设渐开线螺旋槽。在螺旋槽内嵌入特种材料的密封条,密封条相对涡旋盘做圆周向滑动,由于是无油运转,要求密封件耐磨、耐高温、具有一定的蠕变性能,其材质、尺寸、位置对泵的成功长期运转是至关重要的。
齿侧密封即气腔之间的密封和与大气隔绝的密封,通常齿侧密封被认为是决定涡旋泵抽气
性能的主要因素之一,对于齿侧密封,常通过修正涡圈壁厚,选择最佳运行间隙,使泵在达到工作温度时啮合间隙最小,以此达到密封的目的,它也是保证泵的极限真空度的必要条件。由于动、静涡旋盘工作时会产生热变形,而且变形量不同,其最小转动间隙会随工况而变化,间隙过大,会导致极限真空度难以达到,间隙过小,涡旋盘之间会发生摩擦甚至咬合,导致温度急剧上升,破坏涡旋盘壁面,导致泵的咬死失效,所以间隙大小的确定对设计者是一个挑战。