科研单位常用的真空泵可以分为两类，一类是前级泵,是高真空系统获得前级压强的泵，大多是机械泵，常见的有活塞泵、水环式真空泵和油封式转动泵等，目前普遍应用的是水环式真空泵，它的极限真空压强较高：

另一类泵是次级泵，是在前级泵工作后，达到某一真空度时才开始工作的，它是获得高真空的主要工具。实验室常采用旋片式真空泵．它主用来排除密封容器中的非腐蚀性气体，也可作为真空机组的前级泵。