罗茨真空泵，简称罗茨泵，由于它在真空系统中起增加压强的作用，故又称机械增压泵。它的结构和工作原理与罗茨鼓风机十分相似，主要由泵壳，转子和传动齿轮等组成。转子呈8字形，有两个:一个为主动转子;另一个是从动转子。电动机带动主动转子，主动转子通过一对齿数相等的同步齿轮带动从动转子。两个转子工作时在泵腔内作方向相反的等速旋转，因而能够周期地把气体自吸入口送到排气口，再由前级油封机械泵把气体排到大气中去。

罗茨泵的转子与泵腔、转子与转子之间有一定的间隙，约为0.2mm，因此，不需油润滑可以高速转动。但是，在低真空下，气体分子平均自由程小，会有大量气体通过间隙返流到被抽容器中去，降低了泵的效果。若在较高真空状态，气体分子平均自由程增大而间隙处的流导减少，气体返流少，可获得较高的真空度。为此，罗茨真空泵必须配置前级真空泵。

罗茨真空泵的极限真空为0.0665Pa，在13.3kPa~0.01Pa内具有稳定的抽气性能，它的转速高，振动少，容积大，维护费用低，缺点是制造精度高。罗茨真空泵已广泛应用于冶金、化工、食品、医疗、电机制造等工业的脱气、蒸馏、蒸发和干燥等生产过程。