在六十年代以前,人们把极大的注意力放在改善高真空泵的抽气性能方面,而对于真空系统基础设备之一的旋片式真空泵,却没有给予相应的重视。虽然在五十年代里,旋片泵已经发展到了成熟阶段,泵的极限分压强达到1·10-4~1·10-5乇(美、英、德、瑞士)。
但是,随着电子工业、高能物理、空间科学和表面研究的发展,旋片泵的缺陷也日益明显。直到六十年代开始,人们才把注意力转到这个领域里来,作了大量的工作。当七十年代到来的时候,成果相继出现。
观察旋片泵的历史和现状时,可以发现下面几个动向:
1.小型化、仪器化;
2.提高低压强下的抽气效率;
3.消除油蒸汽的返流。