16~17世纪的真空汞实际上就是抽气唧筒，和抽水机的原理是一样的。由于真空的研究在当时还看不出有很大的实际意义，所以往往只是在宫廷贵族中作为一种娱乐才用到真空。真空的研究直到19世纪中叶才有新的进展。1855年德国有一位玻璃技师盖斯勒为了研究低压气体的导电性质.做成了汞泵。这一发明大大推进了气体放电现象的研究。盖斯勒泵的原理很简单。由于汞和玻璃的严密接触，这种真空泵比皮革活塞做成的抽气卿筒优越得多，可以达到更高的真空度。只是提拉汞槽十分费劲，需要花费大量劳动，才能奏效。

后来又有两种改进的汞泵问世。一种叫托普勒泵，一种叫斯普伦格泵。托普勒泵发明于1862年，总高2.1~2.5米，也是靠汞升降，把容器中的空气引出，压到另一容器中并释放到大气里去。它比盖斯勒泵少两个活栓，使用起来比较方便。与此同时，斯普伦格泵也得列发展。它的原理很特别。汞槽固定在高处,汞通过的皮管用钳夹夹住.汞的流量受了限制，于是形成汞滴。汞滴夹带空气落下，使待抽容器的气压降低。这种泵的优点是免除了汞槽的反复升降，只需将收集到的汞液及时倒入汞槽就可以了。

这两种泵在19世纪下半叶发挥了很大作用并得到不断改进，成了当时物理实验室必备的设备。19世纪末,20世纪初一系列重大的发现就是利用这些真空泵研究出来的。