①真空泵要有足够低的饱和蒸气压。一般低真空时，其室温下的饱和蒸气压力应小于1.3×10-1~1.3×10-2Pa;高真空时，应小于1.3×10-3~1.3×10-5Pa。

②化学及热稳定性好。在密封部位，不因合理的温升而发生软化，发生化学反应或挥发，甚至被大气冲破。

③有一定的机械及物理性能。冷却后硬化的固态密封材料，可塑密封材料或干燥后硬化的封蜡等，要能够平滑地紧贴密封表面，无气泡、无皱纹。当温度变化时，不应变脆或裂开。液态或胶态密封材料应保持原有黏性。

④某些密封材料应能溶于某些溶剂中。以便更换时易于清洗掉。

对真空中应用的材料除上述要求外，在某些情况下还必须考虑其电学性能、绝缘性能、光学性能、磁性能和热导率性能等等。

当然，除了材料的以上性能外，还要考虑材料的成本、利用率及选购的可能性等。