罗茨真空泵(简称罗茨泵)是一种无内紧缩的旋转变容式真空泵。依据罗茨泵工作压力范围不同,可分为直排大气的干式罗茨泵和湿式罗茨泵,这种罗茨泵属于低真空罗茨泵;此外还有中真空罗茨泵(机械增压泵)和高真空多级罗茨泵等。罗茨泵具有以下的特性:
①在较宽的压力范围内有较大的抽速;
②设有旁通溢流阀,可在大气压力下启动,缩短了抽气时间;
③转子之间、转子与泵腔壁之间有间隙,泵内运动无摩擦,不用光滑,泵腔内无油;
④转子外形对称,动均衡性能良好,运动平稳,选择高精度的齿轮传动,运动时噪声低;
⑤构造紧凑,占空中积小,通常选卧式构造,泵腔内气体垂直活动,有利于被抽的灰尘或冷凝物的扫除;
⑥选择适合的转子型线和精密的研磨加工,可取得较高的容积效率;
⑦运转维护费用低。
罗茨泵在真空系统中,普通与前级泵(旋片泵、滑阀泵和水环泵等)串联构成机组,在中真空范围,作为机械增压泵来应用;双级或多级罗茨泵机组可取得高真空;关于干式清洁无油的抽气系统多用气冷式罗茨泵机组;关于含水蒸气的被抽系统,多用湿式罗茨泵。
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