真空镀膜设备对抽气系统有以下基本要求。

(1)应有足够大的抽气速率，既能迅速抽走镀膜过程中基片及蒸发材料和真空室内各构件所放出的气体，也能迅速抽走溅射和离子镀膜过程中的掺气及系统的漏气,为提高生产效率,应能快速操作。

(2)镀膜机抽气系统的极限真空度应根据镀制薄膜的不同而有所选择。

(3)在油扩散泵为主泵的抽气系统中，返油率越小越好，因为油蒸气会污染工件表面而造成膜层质量下降。对膜的质量要求特别高的场合。最好采用无油系统。当采用油扩散泵抽气系统时，应在泵入口处没置机械阱、冷阱等元件.并注意元件的气导率.以确保系统的最大抽速。

(4)镀膜室及其抽气系统的漏气率要小，必须把系统的总漏气率限制在允许的范围之内.

(5)真空系统的操作、使用及检修、维护方便，性能稳定可靠。

在镀膜机抽气系统的设计中，抽空真空室、特道、阀门、阱等元件中所固有的空气是选择预抽真空泵、缩短预抽时间的依据，而选择主泵时所需考虑的是各种放气量，如被镀基体的放气，蒸发材料或靶的放气，真空室内壁及室内所有构件表面因压强降低和温度升高所放出的气体，从真空室外翻入到系统内的气体。

镀膜室的漏气率国内尚无标准，设计时可选取漏气量为10-4Pa·L/s，压强增长率为0.05~0.1 Pa/min.