真空应用非常广泛，用于各种不同工艺过程的真空系统种类十分繁多。下面介绍一些典型的真空系统形式.

低真空系统

这种真空系统的极限真空度在低真空范围内，只需用机械泵给真空室排气，系统比较简单。

中真空系统

这种系统应用比较普遍，许多应用设备都采用这种系统。如自耗炉真空系统、感应炉真空系统、热处理炉真空系统等。中真空系统一般是由两个以上的泵串联组成的.以下就是几种常见的中真空系统。

(1)油增压泵(主泵)串联机械泵(前级泵)的真空系统.该系统的工作压强范围为1.33~0.133Pa,其优点是抽气能力大.系统简单.振动小。工作稳定可靠.维修方便，成本低。缺点是预抽时间

长(同罗茨泵系统比较)，因为在1.33~133.3Pa压强范围内.油增压泵和机械泵抽速都下降，工作中需要较贵重的增压泵油。

(2)罗茨泵串联机械泵的真空系统。该系统的工作压强范围为1.33~1333Pa。不但抽气能力大.而且启动快.预抽气时间短。在1.33~101325Pa压强范围内，机械泵和罗茨泵最大抽速能很好衔接上。缺点是工作时有振动，且噪声大;工作中随时间增加，罗茨泵性能下降。

(3)罗茨泵串联小型罗茨泵(中间泵)，再串联机械泵的真空系统。这种系统工作压强范围为0.133~1333Pa，不但工作压强范围大，而且工作真空度高.同时具备了罗茨泵系统的特点。中间串联的小型罗茨泵减小了主罗茨泵对前级机械泵的依赖性。因为压缩比减小，加宽了工作压强范围并提高了极限真空度。

(4)以油增压泵和罗茨泵为主泵，两个泵出口串联罗茨泵.再串联机械泵的真空系统。这种系统的工作压强范围为0.133~1333Pa。该系统具有罗茨泵系统和油增压泵系统的双重特点。

(5)还有油增压泵串联罗茨泵，再串联机械泵的真空系统，罗茨泵串联水环泵的真空系统等。