真空室是真空设备的核心部件。各种真空生产工艺都必须在真空室中进行。真空室中装设不同的功能部件.真空设备就能实现不同的功能。例如,在真空室中设里加热部件,可以实现真空冶炼、真空镀膜、真空热处理、真空干燥、真空钎焊等等工艺过程。在各种真空设备的真空室内尽管完成的工艺过程不同,但真空室本身都是压力容器,大多数为外压容器,也有部分真空室需要承受内压.如真空压力浸渍的浸渍罐.真空高压气淬炉的炉体等.从受压力的角度看,真空室以圆形为好;从容积利用率的角度出发.真空室以箱形为宜;根据需要也有设计成其他各种形状的.如球形、椭圆形、圆锥形等。
真空室一般用轧制金属板材制成,对材料的要求是可焊性好.气密性好。对于真空度要求不高的真空室,通常所用材料为低碳钢、合金钢、铝材和钥材等.对于要求真空度较高而又耐腐蚀的真空室一般采用不锈钢。对于有一定内压力要求的真空室则以采用16MR和20g较多。对于低温容器则应考虑材料的低温性能。
真空室多由焊接而成.对焊接的要求如下。
①为了减少翻孔和漏气量.焊缝的总长度应尽可能短。
②应避免采用十字交叉的焊缝结构,焊缝的高度应大于壳体厚度的1/3;两焊缝中心线之间的距离应大于100mm.
③全部焊缝都可以被方便地进行真空检漏。
④壳体上应尽量减少开孔。需要开孔时,应最大限度地避免在壳体焊缝上开孔.
⑤为了防止壳体变形,对于非气密性焊缝可用间断焊。