近年来真空技术的应用领域日趋广泛，已扩展到整个工业。而在以半导体、电子工业为代表的制造工艺中，迫切要求无油污染的

清洁真空。因被抽气体往往含有腐蚀性蒸汽及磨损粒子，油封泵对此是无能为力的。因而近年来某些国家相继研制出工作在大气

压到0.1pa区域内的干式真空泵，以满足干式工艺的要求。

干式真空泵有非接触型的罗茨式、爪式、螺杆式、接触型的叶片式、凸轮式、活塞式等。非接触型可以高速旋转，但最大压缩比

小。接触型的转速不能太高，但最大压缩比大。尤其在大气压附近，因逆流量变大使后者的压缩比为前者5-8倍。另外，干式真空

泵的转速越高，其压缩比越大，所以干式真空泵的转速多为3000r/min .

从使用寿命、所能达到的压缩比、转速及动平衡性等方面考虑，采用多级爪式转子串联或罗茨转子与多级爪型转子串联组合成干

式真空泵。

这种泵采用了形状复杂的爪型转子，它也类似罗茨泵型式，两个转子与泵体之间形成泵腔的抽气容积，吸气口和排气口分别固定

在两侧端盖的侧面上，有转子在旋转过程中自动开闭。目前有两种结构型式，一种是三级爪型转子加一级罗茨型转子构成的多级

泵，另一种是四级爪型转子串联构成的多级泵。

由于爪式泵沿轴向逆流少，故压缩比在高压区较高。

这种泵的吸、排气口设置在泵腔的端壁上，多级连接很方便，气道流畅，泵内腔压力变换平缓，有利于防止可凝性气体的凝结。

为了防止可凝性气体在泵内凝结，也要向泵腔内通净化气体。现在的爪式泵极限压力为1-10pa，抽速为100-180m3/h，有系列产

品出售。爪式泵也有单级、多级泵出售。