上海飞鲁专业生产高真空机组

上海飞鲁专业生产高真空机组工作在10-2~10-6pa的高真空机组主泵有扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛泵、低温泵等。这些泵都不能直接向大气排气，必须设置前级泵。有的为了防止气压波动，改善机组性能，还配有储气罐。这样，当低真空泵短时间停止工作时，扩散泵还可以正常运转。前级真空由储气罐实现，一般能维持lh。

高真空机组由高真空主泵、机械真空泵、高真空阀门、低真空阀门、挡油器(冷阱)、储气罐和连接管路组成，其主要特点是工作压力较低，排气量少，抽速大。