真空装置所用的材料，基本上可分为结构材料和密封材料，前者是指构成真空装置各部分的材料，后者是用来作为真空装置零部件连接处和可能漏气处的密封材料。

1.结构材料

结构材料的基本要求是:必须有足够低的饱和蒸汽压，能保证很容易除去所吸收的气体，并且要求材料内部结构紧密，无裂缝无气孔。此外，还应考虑导电性能和绝缘性能，抗腐蚀性能，耐高沮性能，以及加工是否容易，是否经济等等因素。在真空装置中常用的结构材料包括金属和非金属两大类。

常用的金属材料有:各种标号的钢、黄铜、锡、铝、镍、铬、钨、钥、银等等。它们的面向真空的表面，应经过良好的表面光洁加工(因它影响零件表面的清洁处理.零件表面沾污及锈蚀等，其脏物之蒸汽压很大，会影响系统之真空度降低)，并且，最好进行表面处理，如镀格、镀镍等。

对于具有徽孔结构的材料(如生铁、青铜、铸铝等)，以及材料上有裂缝和气孔等缺陷，都不能用于真空装置中。

对于用于高沮条件下工作的真空构件，还应该注意其饱和蒸汽压，最好是选用饱和蒸汽压低的材料，这对获得高真空和超高真空来说是很重要的。

常用非金属材料有各种标号的玻璃和有机玻璃，石英、陶瓷及有机塑料等。它们在常温下都是很好的绝缘体。玻瑞及石英还是很好的透明材料，去气检漏清洗都很容易，在金属真空系统中也经常使用。
2.密封材料

真空密封材料，根据使用情况不同，分为连接密封材料(主要密封材料)和填漏密封材料(辅助密封材料)。前者如真空橡皮、软金属(银、银、金、铅、铝)垫的密封，它们是在连接中，在一定压力下变形，紧密贴合两连接面而造成密封的。后者如真空油膏、真空封蜡等，它们有较好的流动性和可塑性，一般用于消除小的漏泄和在接头处造成真空密封涂层，隔绝大气。

选择这类材料最主要的考虑是其饱和蒸汽压和温度稳定性等因素。
 目前在真空密封中应用最多的主要密封材料是真空橡皮，其特点是弹性好，含硫少，

密封可靠，可以拆卸。真空橡皮分管和板两种结构形式，前者作成厚壁连接管(真空橡皮

管)主要用来连接真空系统，后者主要用作真空系统中连接部分的密封衬垫和隔膜。

应该指出，由于橡皮本身的饱和蒸汽压及放气性，真空橡皮管只能用于前置真空的连接管，而真空橡皮垫，一般也只能用于10-5~10-6.毫米水银柱以下，并且它们的使用温度都应限制在-20-90℃之间。
当真空密封处工作温度较高时，或在超高真空部分时，一般都用金属垫密封，而不用橡皮密封。

对于超高真空的活门，如在10-7~10-8毫米水银柱以上的真空度时，除了有的用刃口配较软金属来密封外，也有借助于低熔点的液态合金来密封的，我国已成功地使用了铟或镓铟锡液态合金来进行密封。