中真空机组常用的主泵有油增压泵、罗茨泵(机械增压泵)等，机组适用于需要大抽速和获得中真空的各种真空系统中。可广泛用于镀膜机、真空冶炼、真空热处理、化工、医药、电工、焊接等行业。

(1)罗茨泵(机械增压泵)+油封机械泵机组.

以罗茨泵为主泵，油封机械泵为前级泵的中真空获得设备.整套机组可安里在一个机架上，结构紧凑，使用方便。

作为主泵的罗茨真空泵，有选择zJ型普通罗茨泵，也有选用带旁通阀罗茨泵，前者须在系统被前级泵抽到罗茨泵允许启动压力时才能启动主泵工作。后者由于带旁通阀罗茨泵在较高入口压力时运转不发生过载和过热，因此主泵可以在前级泵工作后，根据系统的实际情况来决定它的启动压力。对于小型机组，还可以两泵同时启动，以加大抽速和缩短抽气时间。

(2)罗茨泵+水环泵机组。

罗茨泵+水环泵机组，它适合抽除含有大量水蒸气的气体，如真空浓缩、真空干燥，特别适宜于弱酸气体及含有少量细微粉尘气体的抽除。

(3)双罗茨泵为主泵的中真空机组。

为了提高真空机组的抽气性能，达到较低的极限压力和改善在低人门压力时的抽速特性及对大型真空机组配用较小规格的前级泵，可以组成由两个罗茨泵串联作为主泵的三级抽气机组。