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罗茨真空泵极限真空和抽气速率的测试

1.极限真空的测试:测试极限真空,是泵在不连接容器的情况下,按规定的条件运转,待泵的温升达到稳定时,从泵的进口附近以真空计测出其稳定的最低压强。

测量极限真空采用的真空计,对于罗茨真空泵,按规定采用座式压缩式真空计,且应准确读出一位有效数字来表示。这种真空计必须经具有±10%以上精度的压缩式真空计校准。对于作为粗真空使用的直排大气的罗茨真空泵,可采用管径相等的开口或闭口U型水银真空计,也可采用精度为±1mm单管水银压力表,不管使用哪种真空计,都应尽量靠近泵的吸气口测量,连接用的真空橡胶管应尽可能短,以尽量减少误差。

2.抽气速率的测试:罗茨真空泵的抽气速率测试,因其用途不同而采用不同的测试方法和仪器。按照部标规定,气体流量小于5OTorr·L/s时,应采用低饱和蒸气压液体滴定管流址计,气体流量大于50Torr·L/s时,应采用浮子流量计。


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