由于各种电真空器件的工作原理是基于电场、磁场来控制电子在空间的运动借以到达放大、振荡、显现图象等目的。因而真空泵系统能防止电子与气体分子间的碰撞，保证电子在空间的运动规律，避免发射热电子的阴极氧化中毒，把电子器件内抽成不同电真空器件所请求的不同真空度、保证电子器件的正常工作。

目前电真空工业中所消费的电真空器件主要有各种电子管 ( 整流管、发射管、收信管、速调管、行波管、磁控管、光电管等 ) ；各种离子管 ( 泵弧整流管、引燃管、计数管、闸流管、噪音管、雷达电线开关等 ) ；各种电子束管 ( 示波管、摄象管、显象管、 x 光管、变象管等 ) ；各种电光源管 ( 照明灯，光谱灯、仪器用灯等 ) 以及中子管、电子衍射仪、电子显微镜、 x 光显微镜，各种粒子加速器、质谱仪、核辐射谱仪、气体激光器以及应用真空中电子束停止除气、熔炼、区域提纯、难熔金属和介质的凝结和钻孔，开槽切割、放射性同位素的蒸发，难熔金属的焊接等许多方面。这些电子器件及工艺，在近代科学和近代大工业消费中所起的作用是显而易见的。