真空系统中，损坏了的零部件如果修配完毕，或者根据生产要求自行改进、设计的真空系统所需之零部件已准备就序，那么下一步应对这些零部件进行鉴定和清洗，只有事先做好了这些准备工作，后面系统安装和调试才会顺利。
真空元件的鉴定
鉴定内容包括对于所使用的真空泵应检查其特性，主要是极限真空度和抽气速率能否满足要求。对一些主要零部件必须进行密封性能的鉴定，对玻璃零件是用机械泵抽空，用火花检漏器检漏;对金属零件通常是打气试漏，即在零件内打入压缩空气，放入水中或肥皂水中仔细观察因漏气所发生的连续气泡。用其他方便的检漏方法均可。真空元件的漏孔往往在焊缝处，需特加注意。密封性能要求高的地方，应用氦质谱检漏仪检漏。近来也有采用更方便直观的荧光检漏法找出漏隙的。
