在真空设备维修中，常遇到真空阀门漏气、卡死、内部波纹管裂、脱焊等，这需要拆下换配件或换新品。玻璃活栓常常是旋塞损坏、碰碎、卡死，这就需要换同型号新品或清洗换油膏。一般人们习惯使用西里康油脂(Silicone, 10-6托)，它稀软，粘度适宜不拉丝，易均匀布满旋塞上，油蒸气压低(10-6托)。阿皮松油膏和国产上炼1-4号也不错，只是粘度大。冬天旋不动时，可用火头略加温即可旋下，不能猛力旋转，以免折断。
金属阀门损坏可以拆下修理，换掉损坏的部件:例波纹管等即可。若不能修好需换新品时，一定要选取阀门型号、通径等相同或相似者。平时应注意对阀门检漏以及清除脏物和积存的油脂。常遇到系统真空度上不去，问题往往在阀门上，故对所用阀门的结构应当热悉，使用时应注意不可过分用力，不能旋的过紧和过松。特别对使用波纹管密封的那类金属阀最易压裂，故最好在阀门杆上刻上限制记号，以免损坏。
在旋片泵进气口上，常另加电磁阀作开、闭和停泵时向旋片泵放气和使高真空系统关闭保存真空用。
