在我国，已把扩散泵纳入国家标准系列生产，使用已非常广泛。

现有扩散泵可以分为不同的类别:

1.按工作液可分为油扩散泵和汞扩散泵。

2.按结构材料可分为金属扩散泵和玻璃扩散泵。金属扩散泵可以做得很大(抽速可做到每秒几十万升)，玻璃扩散泵只能做成每秒几百升的，但它的突出优点也不可忽视。

3.按型式、结构可分为立式、卧式，单级、多级。

目前使用最多的是金属或玻璃立式四级油扩散泵。汞扩散泵也逐渐又为人们所重视。

扩散泵的主要结构部件有泵体、冷却帽、喷嘴、蒸气流导管和加热器等。

扩散泵的简单工作原理是利用高速蒸气流的作用，在被抽容器和扩散泵之间建立起被抽气体的分压强差，这样被抽气体分子便不断扩散到高速定向蒸气流中，再被压缩到前级空间，最后为前级泵所抽走。

扩散泵必须在一定的预真空下(10-2~10-3托)才能工作。当前级机械泵使扩散泵达到预真空后，即可用电炉将泵内工作液加热到沸腾，它产生的大量蒸气通过泵芯导流管分送到各级喷嘴，蒸气在喷嘴帽处改变方向，从喷口喷出后，即形成速度很高的定向密集的蒸气流。