扩散泵全名叫扩散式蒸气流泵，是蒸气流泵之一种。产生蒸气流的泵液种类虽很多，但绝大多数是低饱和蒸气压的油类。以扩散泵油作工作液的称油扩散泵，以汞作扩散泵液的则称汞扩散泵，油扩散泵最为常用,扩散泵需保证前级在10-2~10-3托的预真空条件下才能很好工作。通常用机械泵作前级泵。普通扩散泵可获得10-4~10-9托的极限压强，如果采用冷冻挡板或液氮冷阱，并对容器进行烘烤去气，则可获得10-8到10-11托的超高真空，如果泵设计得很好，再加上去除油蒸气返流和永久气体污染源等严格措施，那么获得10-14托以上的极高真空也是可以达得到的。
扩散泵的主要优点是:抽气能力大，抽速范围宽(目前生产的泵抽速从几升/秒到十万升/秒)，对各种气体包括惰性气体(如氖、氦等)有相同的抽速，这是任何其他泵种所无法比拟的;此外与其他高真空或超高真空获得设备相比，单位抽速所需成本较低(不象深冷泵等需极昂贵的冷凝剂)，结构简单，没有机械转动，操作方便且能反复循环使用，便于维护，使用寿命长，很易获得高真空，因而，扩散泵自六十五年前发明以来，特别是近三十年，已被广泛用于电子、冶金、化学、原子能等工业部门和空间技术等科学研究领域中。
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