检查时，应将泵隔离后再行检查。先隔离阀门到真空泵这段系统各可疑部位:阀门、法兰、管道焊缝转弯处并作细致的检漏工作。通常用真空计法，即用毛笔、酒精、丙酮等有机溶剂逐一涂抹以上可疑部位和泵的进气口接缝等处，同时看真空计或辉光颜色的变化。

当发现真空计抖动或紫色辉光变乳白色时，可判定被涂到的部位漏气。在漏隙较小时，这种方法就难以觉察了，应采用更灵敏的方法检漏。如有漏气处，则可修补之。如系真空泵本身有毛病，则应把泵从系统上拆下检修。先按不拆泵检查方法试试，例如加油，换油、调油路等，如能凑效则更好。

端盖板的磨损和划痕，可采取车、铲刮研磨的方法去除。尺寸可不受那么严格的限制。车削后，可在0级平板上涂红丹料膏(调了油的)，与端盖板对磨几下后，取下端盖检查，通常若在端盖面上平均每25平方毫米的面积中有4-5点(亮点)，便应再进行仔细手工研磨，即用1000号的研磨砂将端盖与泵腔端面互相对磨，磨到看不见划痕即可。若采用平面磨床磨削时，磨床加工精度应有二级以上，最好一级。