罗茨真空泵是由罗茨鼓风机演变而来。罗茨鼓风机在吸入口为正常大气压的情况下，将气体加压成0.1-2kg/cm出口压强，作为冶炼工业等的鼓风使用。罗茨真空泵在结构和原理上都与罗茨鼓风机相似，故沿用了相同的名称。

二十世纪中叶，由于真空技术的发展，尤其是山于真空冶炼高级合金的需要，要求在冶炼真空系统中，解决在真空度为1~10-2Torr工作时具有大抽速的新型真空设备。当时，适宜低真空工作的油封机械真空泵和适宜高真空工作的油扩散泵，都不能很好地担负这一任务。因为油封机械真空泵在1~10-2Torr时，抽速严重下降，工作效率很低，如勉强使之承担大抽速，需要多台并联工作，必然造成很大浪费。至于高真空适用的油扩散泵，在这样的入口压强下尚不能工作。所以，在这种情况下必须设计出抽速大、效率高的新型真空泵。1944年在德国出现的罗茨真空泵，就是为适应这一需要而诞生的产品。1974年成功地将罗茨泵用于真空冶炼，以后发展颇为迅速。我国从1960年开始设计和试制这种泵，二十多年来己有相当发展，应用较为普遍，泵的产量和质量都在不断提高，在我国真空工业中这种泵常称为机械增压泵。

现在，罗茨真空泵的应用范围越来越广，几乎在各种需要大抽速的真空泵系统中都得到应用。国内外真空技术工作者对罗茨真空泵的理论和应用研究，也在不断地深入。在转子型线理论上发展了圆弧型线、摆线型线和渐开线型线。在可靠性方面，罗茨真空泵上附设自动调压旁通阀，用于控制出入口间的压差，发展了液力联轴器驱动。为实现按负荷无级调速，发展了真空继电器控制自动启闭，它能在泵出入口压差上升负荷增大时，自动保护罗茨真空泵不至因过载而损坏。在配套机组方面，发展了罗茨真空泵与水环真空泵、旋片真空泵、分子泵等各类真空获得设备的配套机组，还发展了双级串联罗茨真空泵，并逐渐扩大应用范围，充分发挥了罗茨真空泵的优越性。

除作为机械增压泵用于在前级预真空泵的配合条件下工作外，还发展了直排大气的罗茨真空泵，开辟了单机使用罗茨真空泵的新路子。利用附加的水封或油封装置，使之不用前级真空泵，通过水封或油封即可向大气排气，以单机作为粗真空、大抽速真空泵使用，代替传统的水环真空泵、旋片真空泵等，取得了提高效率、节约能源的良好效果，并在工业技术中，正逐步扩大其应用范围。